ETCH

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アプリケーター(コイル付き石英チューブ) Applicator (Quartz Tube with Coil)

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エッチング(Etching)装置用の石英(クォーツ/Quatz)アプリケーター(コイル付きチューブAssy)の販売。12インチ(300mm)用。LAM Versys kiyo用。P/N: 765-065782-001用など。

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CFユニット(ACD-73100)用CFカード CF Card for CF Unit (ACD-73100)

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Conpact Flash(CF) ACD-73100用のCFカード(メディア)。SCSI通信規格専用。主にAMATの装置(Centura/Endura/Producer等への互換性)。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。 ※メディアの記憶容量も都度変わりますのでご注意ください。

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DPSスロットルバルブリードスクリューAssy DPS Throttle Valve Leadscrew Assy

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エッチング(Etching)装置用のDPSスロットルバルブリードスクリューAssy の販売。8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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DPSメタルスロットルバルブ 5フェーズAssy (ベルトタイプ)DPS, Metal, Throttle Valve 5-Phase Assy ( Belt Type )

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エッチング(Etching)装置用のスロットルバルブAssyの販売。5フェーズ、ベルトタイプ、8インチ(200mm)、AMATメタルDPS用。P/N:0010-30135の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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PC/FC-98➡Windows 10変換エミュレーター PC/FC-98 to Windows 10 Conversion Emulator

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NEC製PC-9800/FC-9800シリーズのOS/アプリケーションで動いている設備を、既存設備の改良なしでそのまま最新Windows PC上で動作(エミュレート)させることができる老朽化延命対策ソリューション。老朽化したPC-98の、いつ起こるかわからない障害に対する不安を解消生産設備全体のリプレースの必要はなく、生産設備の要である制御用PCのみをリプレース評価不要のため低コス...

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。日立(HITACHI)。P/N:2-821454-*Dの互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

12インチ静電チャック(ESC/Eチャック) 12INCH ESC/ECHUCK

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。12インチ(300mm)用。TEL。P/N:の2L10-150079-13(ES2L10-150079-13), 2L10-151982-11(ES2L10-151982-11)の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。TEL。P/N:1D85-006979-12(1D10-101692-13), 21D10-101956-12, 21D10-101965-12(1D85-009005-13), 1D85-010782-13(1810-121880-11)の互換品。※写真は...

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。12インチ(300mm)用。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-839-800328-300, 839-800327-315, 839-019090-324, 839-019090-374, 839-800327-385, 839-800327-432, 839...

12インチシリコン(Si)電極/エレクトロ―ド 12INCH SILICON ELECTRODE

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エッチング(ETCHING)装置用12インチ(300mm)⽤シリコン(Si)電極/上部電極/エレクトロ―ド/カソードの販売(新品または再生/リファーブ品)。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-044157-431の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-019090-225, 839-800327-226, 839-800327-246, 839-440462-518の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。6インチ(150mm)用。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-440562-306の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

6インチシリコン(Si)電極/エレクトロ―ド 6INCH SILICON ELECTRODE

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エッチング(ETCHING)装置用6インチ(150mm)⽤シリコン(Si)電極/上部電極/エレクトロ―ド/カソードの販売(新品または再生/リファーブ品)。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-011906-001, 839-440562-306の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(再生/リファーブ品)。12インチ(300mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0040-48594の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0195-07766, 0195-07958, 0195-07994, 0010-15452, 0040-18053, 0040-18208, 0040-18219の互換品。※写真は代表的なものを載せて...

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。

Flex 45 12インチESC再生 Flex 45 12 INCH ESC Refurbishment

¥3,600,000

エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。 ※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。

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ASSY ESC RF 200mm フラットハイフロー Assy ESC, RF, Flat DZ Hi flow, outer/AP

¥4,200,000

エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。8インチ(200mm)用。P/N:0010-07946の互換品。AMAT Centura E-MAX(EMAX)用。 ※写真はESCのイメージのため現物とは異なります。

¥420,000 から

エッチング(ETCHING)装置用4インチ(100mm)⽤シリコン(Si)フォーカスリング。抵抗値1〜30Ω.cm。1D10-350748-21の互換品。10個が最小販売ロット(MOQ)。

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PRF補助用樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

¥7,000

チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。詳しくはこちらから

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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle

¥90,000

日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。詳しくはこちらから

¥170,000 から

樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。詳しくはこちらから

¥280,000 から

樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。詳しくはこちらから

チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025

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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...