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ターンテーブルモーター修理 Turn Table Repair
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CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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QCドライサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25970 QC Dryside Assy Repaur/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCウェットサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969 QC Wetside Assy Repair/Ovehaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCギアボックスアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Repair/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイトアノダイズ・アルミナ(Al2O3)/イットリウム/イットア(Y2O3)パーツの洗浄再生サービス。ドライアイス洗浄によりパーツにダメージを与えず洗浄が可能。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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アルミアルマイトパーツ再生 Anodized Aluminum parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイト/アノダイズパーツの再生サービス。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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真空ゲートバルブ修理/オーバーホール Vacuum Valve Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ゲートバルブの修理、オーバーホール。主にVAT、HVA等に対応。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(インプラ/IMP)装置用。VATシリーズ010/02/03/04/075/10/12/14/15/16.2/61/65、SMC XGT200/300等に対応。 詳しくはこちらから
OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration
¥100,000 から
¥100,000 から
米国OAI製UV照度計とプローブ(Probe)の校正サービス。Model306/308/311/316/317/356/357/358/359/457/459/656/659、全380シリーズに対応。プローブは365/400/420/436nm等。主にフォトリソグラフィー装置の光源用途。新品の販売も対応。 詳しくはこちらから
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真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul 真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ポンプ(クライオ、ターボ、ドライ、ロータリー等)の修理およびオーバーホール(O/H、OH)。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(IMP)向け。Helix:CT-8/10、100/250F、OB-8/10、ULVAC:Uシリーズ、キヤノンアネルバ(Canon Anellva)CUPシリーズ、EBARA、BOC EDWARDS(エドワーズ)等...
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ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair
¥500,000
¥500,000
CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。 詳しくはこちらから
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スラリーモーター(チューブポンプ)修理/再生/オーバーホール Slurry Motor (Tube Pump) Repair/Refurbish/Overhaul スラリーモーター(チューブポンプ)修理/再生/オーバーホール Slurry Motor (Tube Pump) Repair/Refurbish/Overhaul
¥50,000
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CMP装置用スラリーモーター(チューブポンプ)の修理。ドライアイス洗浄での内部清掃(クリーニング)とカーボンブラシ、ベアリング交換を含んだオーバーホール。P/N:0090-77057/0090-77135または900-1174等。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから