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修理/再生/OH

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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スピードファム(SPEEDFAM)向け。
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スクリーン(SCREEN) MP3000向け。
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ターンテーブルモーター修理 Turn Table Repair
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CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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8インチポリイミド静電チャック再生(ESC/Eチャック) 8INCH Polyimide ECHUCK(ESC) Refurbishment
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。アルミ(Al)アルマイト(アノダイズ)再生＋ESC貼り換え、ESC貼り換えのみの二通りの再生。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0041-34688/0010-10327/0040-99949の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair 静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)用電源の修理。純正P/N:E19283790、E11287900の互換品。電源メーカー:TREK 681B。AMAT(VARIAN) VIISta810用。
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QCドライサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25970 QC Dryside Assy Repaur/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCウェットサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969 QC Wetside Assy Repair/Ovehaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCギアボックスアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Repair/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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ポンプI/O修理 PUMP I/O Repair ポンプI/O修理 PUMP I/O Repair
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ポンプI/O修理 PUMP I/Oの修理。P/N:2980-091285-11 (型番 HTE-PP1-Aｰ11（TAB1500)に対応。TEL ACT8用。
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アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイトアノダイズ・アルミナ(Al2O3)/イットリウム/イットア(Y2O3)パーツの洗浄再生サービス。ドライアイス洗浄によりパーツにダメージを与えず洗浄が可能。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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アルミアルマイトパーツ再生 Anodized Aluminum parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイト/アノダイズパーツの再生サービス。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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イオンソースアップグレード Ion Source Upgrade
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のイオンソース(イオン源)を標準バーナス型からIHC(カソード)型へ改造するアップグレード。イオンソースのロングライフ化が実現可能。追加のカソード電源も準備可能。VIISion、VIISta、GSD、PI9500(PI-9500)XR/XR80等に対応。
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真空ゲートバルブ修理/オーバーホール Vacuum Valve Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ゲートバルブの修理、オーバーホール。主にVAT、HVA等に対応。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(インプラ/IMP)装置用。VATシリーズ010/02/03/04/075/10/12/14/15/16.2/61/65、SMC XGT200/300等に対応。 詳しくはこちらから
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ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment
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スパッタ(PVD)、CVD装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)およびヒーターの再生。Centura HDP、TXZ/WXZ/CXZ/DXZ、Producer(プロデューサー)、P5000(P-5000)、ENDURA5500等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にAMAT 8、12インチ(200、300mm）向け。P/N:0040-18219、0040-48594、00...
OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration
¥100,000 から
¥100,000 から
米国OAI製UV照度計とプローブ(Probe)の校正サービス。Model306/308/311/316/317/356/357/358/359/457/459/656/659、全380シリーズに対応。プローブは365/400/420/436nm等。主にフォトリソグラフィー装置の光源用途。新品の販売も対応。 詳しくはこちらから
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment 静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。Centura DPS、Super-e、MXP+、TCP/Alliance 9400/9600、Exelan-Hpt、Flex、Kiyo、UNITY、8500、DRM、SCCM等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にLAM、TEL、AMAT 8、12インチ(200、300mm）向け。
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PCBボード修理 Board Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のPCBボードの修理。General I/O DIボード、IHCソースコントーラーPCB等に対応。ボード部品の欠品が無いこと、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:1520510 (ASSY)・1420510 REV.4 (PCB)、1522620 (ASSY)・1422620 (PCB)。Axcelis GSD用。
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HVパワーサプライ(高電圧電源)修理 HV/High Voltage Power Supply Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHV電源(ハイボルト電源)の修理。電源:OL8000/104/02(A1010070)、Stack:OL8000/104/01 (A1010080)。Glassman、Spellman、Motechホイールスピンアンプ電源 MP80(0090-91596)、MR71/PL21(0090-91124)、MH21/MH22(0090-91597)、HITEK...
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コルモーゲンモーター修理 KOLLMORGEN Motor Repair コルモーゲンモーター修理 KOLLMORGEN Motor Repair
¥800,000
¥800,000
CMP装置研磨ヘッド用コルモーゲンモーター(Kollmorgen)の修理。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:D101A-93-1215-001またはD101B-93-1210-014に対応。AMAT Reflexion用。 詳しくはこちらから
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment 静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。純正品よりも耐久性・寿命を延命したアップグレード付の再生。Varian VIISta、VIISion、E220/E500/EHP220/EHP500、AMAT Quantum用のESCに対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。E11098654/E11098653/E11144761。 詳しくはこちらから
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真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul 真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ポンプ(クライオ、ターボ、ドライ、ロータリー等)の修理およびオーバーホール(O/H、OH)。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(IMP)向け。Helix:CT-8/10、100/250F、OB-8/10、ULVAC:Uシリーズ、キヤノンアネルバ(Canon Anellva)CUPシリーズ、EBARA、BOC EDWARDS(エドワーズ)等...
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HYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)修理/洗浄 Probe/Particle Monitor/Sensor Repair/Cleaning HYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)修理/洗浄 Probe/Particle Monitor/Sensor Repair/Cleaning
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)の修理および洗浄。レーザーダイオード、ビームストップ、フォトダイオード(ウィンドーフォトセル)交換なども対応可。Axcelis GSD用20SX/20SXG HYTに対応。 詳しくはこちらから
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メインコントローラー(コントロール)ボックス修理/アップグレード Main Controller (Control) Box Repair/Up-grade メインコントローラー(コントロール)ボックス修理/アップグレード Main Controller (Control) Box Repair/Up-grade
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コーター(コータ)デベロッパー用のメインコントローラー(コントロール)ボックスの修理、#2(入手困難なフロッピーディスク/FD)から#3.5(USB、HDDミラーリングシステム、RAID、マスター/スレーブ機能搭載)へのアップグレード。TEL ACT8(ACT-8)用。フォトリソグラフィー。 詳しくはこちらから